一、半导体制造业面临的问题
作为高端制造行业,半导体制造行业使用了大量高精密仪器生产设备。这些生产设备均需在在无尘环境7*24小时全天候运行,具有复杂的机械特性。机台通过配备的工控机来控制上百道的复杂生产工序,同时检测设备的操作和运转状态,并进行机台数据的收集、分析与审计。这些生产设备通常由多个厂商提供,不同用途,种类繁多,具有不同的接口和操作系统,对于设备维护人员无形中也增加了维护难度。
在日常的生产过程中,需要大量的机台管理或维护人员必须要在各厂房内来回巡视,若看到机台异常信号,便需要在现场判别错误原因、再执行修复。若需要进到无尘厂房处理异常告警设备,还必须穿戴无尘隔离装备。这样不仅造成了人员的浪费、故障处理时间的浪费,生产效率也明显降低;而且有些无尘隔离装备是一次性或需要用完后清洗,这样也造成了人力与物力上的资源浪费。
二、RCM机台远程控制管理系统的原理及用途
RCM(Remote Control Management)机台远程控制管理系统(以下简称RCM系统),它通过网络技术实现对远程设备的监控、操作和管理。将制造业的机台工控机键盘、屏幕、鼠标信号接入RCM硬件后,利用先进的网络技术、图像识别技术和自动化技术,实现对制造业生产设备的远程监控、操作和管理,极大地提高了生产效率和设备利用率。同时,可利用OCR(光学字符识别)屏幕图像识别技术、RPA(机器人流程自动化)技术,实现设备的自动操作和异常处理;实时监控生产设备的运行状态,及时发现和处理故障,确保生产的顺利进行,大大提升生产效率、设备综合效率,降低产品不良率。
RCM远程设备控制技术具有广泛的应用场景,涵盖了半导体工厂生产自动化、柔性化制造单元自动化控制、远程设备监控与管理、航运业远程集装箱管理以及工业物联网与智能制造等领域。通过应用RCM技术,企业可以实现设备的远程监控、操作和管理,提高生产效率、降低生产成本、提升智能化水平。
三、鸿通RCM系统半导体制造业解决方案
采用鸿通RCM系统,既可以在厂房无尘室内提供制程工程师、机台作业员及设备工程师半导体设备的本地端访问,也可以为无尘室外的经理、工程师、技术员或监管员提供可控制的远程访问。只要网络可达,无论是有线网络还是WIFI,无论是在无尘室内还是外,无论是PC还是PAD均可对数以千计的半导体机台设备进行访问和控制。
鸿通 RCM系统对于机台的种类,使用年限,操作系统均无限制,只要机台具有显示器、键盘、鼠标接口,就可实现本地连接和远程控制。
将RCM设置为分配器模式,机台开电本地控制台即可进入系统界面,不改变本地访问模式。用户访问必须进行身份认证,通过权限设置,以确定哪些设备可进行访问,以及是否让用户完全控制、共享访问或只读访问,甚至可以灵活配置远程或本地人员的控制优先级别,例如在本地人员执行维护时选择禁止远程控制,或远程人员远程维护时禁止本地操作。
在集中管理模式下,无论本地端还是远程用户均采用集中认证方式,对用户和设 备进行集中管理,设备和用户统一分配授权,支持用户权限无限制分级、分组管理;不同的用户只能看到并且操控自己具有权限的受控设备。实现数据加密传输和双向证书认证并通过单一IP地址、单一端口号对机房设备进行全面管理,提供更高安全控制。可以实现操控过程的实时屏幕录像,便于事后审计。
经统计高达30%~40%的机台错误,都可归类为常态性错误,仅需按一个键或重启程序等简单动作就能恢复正常,因此半导体制造商也可以通过标准的VNC协议和工厂自动化系统集成,在发生状况时远程自动执行除错命令修复,不再需要人为介入,以节省人力资源和提高故障处理能力,从而提高生产效率。
四、方案实现
拓扑图
通过EasyLINKPro RCM和ES5000 RCM集中管理软件,整合机台本地访问,提供对机台的远程管理能力。
方案特点:
1. 利用RCM设备进行远程管理及维护。
2. 适应面广,不受设备种类限制,无需改变机台原有操作模式。只要机台具有显示、键盘、鼠标接口,即可利用鸿通RCM增加远程管理能力。
3. 不需要在机台控制器内安装任何软件或硬件。
4. 可自定本地访问优先或远程优先,本地与远程互不干扰。
5. 具有完备的数据传输加密和安全性,整合用户、设备权限管理,做到人员仅管理有权的设备。
6. 支持WIFI无线,省去布线繁琐。
方案优势:
1. 降低成本:利用RCM对生产区域进行集中管理,少数人员即可管理多数机台,可有效降低人员成本。
2. 提升工作效率:经调查大多数情况下机台常态问题仅需少量操作即可恢复,利用远程可实时解决机台问题,无需进入生产区域,省去到达现场、穿脱无尘服等时间。
3. 多屏实时监控:监控中心通过大屏幕实现多屏画面分割,对各站点被控设备进行实时监控
4.二次开发:经调查大多数情况下机台常态问题仅需少量操作即可恢复:用户的自动控制服务通过鸿通API,由RCM获取机台界面图像,并用对图像进行分析,获得机台当前工作状态。当发现机台故障时,由自动控制服务通过API,操作RCM向机台发送键盘、鼠标等控制信号,自动解决机台故障。